環境用多点オゾンモニタ｜EG-6000M
EG-6000Mは環境用の多点オゾンモニタです。
半導体製造プロセス等クリーンな環境下で複数点の環境レベルオゾンを測定する用途で御使用頂いております。
資料のダウンロード
特長
- 紫外線吸収式採用で非常に高精度です。
- 最大10点まで測定が可能です。
- 6種類の自己診断機能があります。
仕様
環境用多点オゾンモニタ｜EG-6000M
EG-6000Mは環境用の多点オゾンモニタです。
半導体製造プロセス等クリーンな環境下で複数点の環境レベルオゾンを測定する用途で御使用頂いております。