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オゾン発生装置

オゾン発生装置

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低濃度のオゾンを大風量で供給します。
オゾンモニタで試験チャンバー内のオゾンを測定し、濃度が一定値になるように制御します。
(本装置に試験チャンバーは含まれません)
外部機器の異常信号を受け取り、オゾン発生が停止します。また、復帰してもリセットスイッチを押さない限り、オゾンは発生しません。