pic-EL-700A
納入機種 溶存オゾンモニタ
型式 EL-700A/EC-755
用途 オゾン超純水による洗浄工程に係わる溶存オゾン濃度管理
対象材料 超純水
導入目的 半導体製造や液晶製造などで使用される洗浄液は、環境に優しい機能水の利用が普及してきています。オゾン超純水製造装置は機能水装置の中心的な一つで、世界的に普及しています。オゾンの持つ酸化力を利用するもので、洗浄対象にあったオゾン水濃度管理が主な目的となっております。
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