EL-600
機種 オゾンモニタ
型式 EL-600
用途 洗浄用オゾン水の濃度管理
対象材料 ガラス基盤、シリコンウエハ
目的 フォトマスク製造時に、オゾン水により材料表面を洗浄します。そのオゾン水の濃度管理に使用しています。
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