| 機種 | オゾン / ＵＶ表面処理装置 |
|---|---|
| 用途 | ウエハ表面の親水化 |
| 対象材料 | シリコンウエハ |
| 用途目的 | シリコンウエハにオゾン・UV処理を行い、ウエハ表面を洗浄し親水化させます。 |
オゾン発生器・オゾン水生成器・オゾン分解のスペシャリティオゾンの発生器、濃度計、反応装置、分解装置を設計、販売、レンタル
電気化学関連研究機関
| 機種 | オゾン / ＵＶ表面処理装置 |
|---|---|
| 用途 | ウエハ表面の親水化 |
| 対象材料 | シリコンウエハ |
| 用途目的 | シリコンウエハにオゾン・UV処理を行い、ウエハ表面を洗浄し親水化させます。 |