某表面処理装置メーカー　様 | オゾン測定器 – 荏原実業株式会社計測器・医療本部

納入機種	オゾンモニタ
型式	ELM1，EG-700EⅢ
用途	UV光の照射による表面処理
対象材料	ガラス・セラミック・プラスチック・金属等
導入目的	処理環境に酸素が存在するとUV光によってオゾンが生成されます。オゾンが作業環境中に拡散すると、濃度レベルによって人体への悪影響が懸念されています。このような装置では、作業環境保全の観点からオゾン濃度の監視が行われます。