電気化学関連研究機関
機種
オゾン / UV表面処理装置
用途
ウエハ表面の親水化
対象材料
シリコンウエハ
用途目的
シリコンウエハにオゾン・UV処理を行い、ウエハ表面を洗浄し親水化させます。
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