半導体製造装置内の排気オゾンの分解用でご使用頂いております。 [続きを読む]
オゾン発生器より試験槽にオゾンガスを注入し、試験槽内のオゾン濃度をオゾンモニタで測定し、調節計にてオゾン濃度の制御を行う装置です。
また、排気にも監視オゾンモニタをつけて常時監視しております。 [続きを読む]
納入機種 オゾンモニタ 型式 PL-603 用途 オゾン水生成装置の品質管理 導入目的 医療用感染防止目的としたオゾン水生成装置の品質管理として、対象のオゾン水が製品規格内で正常に生成されているかを管理する為に導入されています。 [続きを読む]
機種 オゾン濃度計 型式 EL-700EⅢ 用途 食品原材料の管理 目的 オゾンガスを食品原材料に曝露することで、除菌・脱臭・鮮度の保持等に役立てます。そのオゾンの濃度管理に利用されます。 [続きを読む]
機種 溶存オゾン検知器 型式 検たろう 用途 オゾン水の濃度管理用 対象 飲料水 目的 飲料水を充填するときの濃度を、HACCPの履歴管理として使用します。 [続きを読む]
機種 オゾンモニタ 型式 EL-600 用途 洗浄用オゾン水の濃度管理 対象材料 ガラス基盤、シリコンウエハ 目的 フォトマスク製造時に、オゾン水により材料表面を洗浄します。そのオゾン水の濃度管理に使用しています。 [続きを読む]
納入機種 オゾンモニタ 型式 EG-2001B 用途 オゾンガス発生器の濃度検査 対象材料 水道水中の有機物 導入目的 高濃度対応のオゾンモニタを、オゾンガス発生器の濃度管理に利用しています。 [続きを読む]
納入機種 オゾンモニタ 型式 PG-620 用途 オゾン関連製品の品質管理 対象材料 脱臭・除菌洗浄用オゾン発生器 導入目的 工場・店舗・ホテル等の脱臭や除菌を目的としたオゾン発生器の品質管理として、対象のオゾンガスが製品規格内で正常に発生しているか管理するた … [続きを読む]
納入機種 オゾン処理設備 型式 OZSD-3000AS 用途 下水中の微量有害物質除去や、下水処理水の脱色等の調査研究に使われます。 サンプル水を反応水槽に入れ、オゾン処理効果の確認をします。 オゾン発生器は発生オゾン濃度計で制御されており、実験中は注入率を一 … [続きを読む]
納入機種 オゾンモニタ 型式 EG-2001F 用途 低濃度のオゾンガスを高精度に測定する濃度計です。 対象材料 一般家電製品、電気製品等 導入目的 第三者認証機関として、各社よりS-JET認証試験や依頼試験などにおけるオゾン濃度測定に対応されています。 [続きを読む]