オゾン発生器・オゾン水生成器・オゾン分解のスペシャリティオゾンの発生器、濃度計、反応装置、分解装置を設計、販売、レンタル
オゾン測定器 – 荏原実業株式会社 計測器・医療本部
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導入事例
某オゾン水製造装置メーカー 様および洗浄装置メーカー 様
某オゾン水製造装置メーカー 様および洗浄装置メーカー 様
納入機種
溶存オゾンモニタ
型式
EL-700A/EC-755
用途
オゾン超純水による洗浄工程に係わる溶存オゾン濃度管理
対象材料
超純水
導入目的
半導体製造や液晶製造などで使用される洗浄液は、環境に優しい機能水の利用が普及してきています。オゾン超純水製造装置は機能水装置の中心的な一つで、世界的に普及しています。オゾンの持つ酸化力を利用するもので、洗浄対象にあったオゾン水濃度管理が主な目的となっております。
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