| 納入機種 | 溶存オゾンモニタ |
| 型式 | EL-700A/EC-755 |
| 用途 | オゾン超純水による洗浄工程に係わる溶存オゾン濃度管理 |
| 対象材料 | 超純水 |
| 導入目的 | 半導体製造や液晶製造などで使用される洗浄液は、環境に優しい機能水の利用が普及してきています。オゾン超純水製造装置は機能水装置の中心的な一つで、世界的に普及しています。オゾンの持つ酸化力を利用するもので、洗浄対象にあったオゾン水濃度管理が主な目的となっております。 |
| 納入機種 | 溶存オゾンモニタ |
| 型式 | EL-700A/EC-755 |
| 用途 | オゾン超純水による洗浄工程に係わる溶存オゾン濃度管理 |
| 対象材料 | 超純水 |
| 導入目的 | 半導体製造や液晶製造などで使用される洗浄液は、環境に優しい機能水の利用が普及してきています。オゾン超純水製造装置は機能水装置の中心的な一つで、世界的に普及しています。オゾンの持つ酸化力を利用するもので、洗浄対象にあったオゾン水濃度管理が主な目的となっております。 |