今回はオゾンの測定方法の中で半導体式についてご紹介します。 半導体式のオゾンモニタは、半導体薄膜の表面にオゾンが接触すると、オゾンの酸化力によって半導体の電子が拘束され電気抵抗が変化します。この抵抗値がオゾン濃度と相関が … 続きを読む →