今回はオゾンの測定方法の中で半導体式についてご紹介します。

半導体式のオゾンモニタは、半導体薄膜の表面にオゾンが接触すると、オゾンの酸化力によって半導体の電子が拘束され電気抵抗が変化します。この抵抗値がオゾン濃度と相関があるため、抵抗値の変化を利用してオゾンガスの検知をします。

紫外線吸収式は光を測定基準としているため感度変化が小さいのに対し、半導体式は経年変化と環境により感度が変わることがあり、数ヶ月から半年に1回感度調整が必要になります。そのため濃度変化を相対的に監視する検知器として販売されていることが多いです。

メリットとしては紫外線吸収法に比べ安価、持ち運びが容易といったことが挙げられます。

測定方法、機種の選定など御気軽にご相談下さい。